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產(chǎn)品咨詢 18215640190
前臺咨詢 028-62705808 產(chǎn)品咨詢 18215640190 前臺咨詢 028-62705808 產(chǎn)品咨詢 18215640190 項(xiàng)目概述
將Mask上的Mark點(diǎn)對準(zhǔn)Wafer上的Mark
先將Mask和Wafer上的mark進(jìn)行預(yù)對位，再進(jìn)行精定位。
晶圓尺寸:2~12英寸的方片和圓片
項(xiàng)目需求
引導(dǎo)校正機(jī)構(gòu)對晶圓的位置和角度進(jìn)行校正
精對位精度要求:±0.5um
效果展示
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